我國研制成功300毫米多線切割機

中國電子科技集團公司總經(jīng)理王志剛1 月12 日透露，由中國電科承擔的國家重大科技專項“ 極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項”課題之一的300 毫米硅材料多線切割機近日研制成功，從而打破了國內生產(chǎn)線上運行的12 英寸多線切割機全部為進口設備的現(xiàn)狀。

王志剛在中國電科2011 年工作會議上介紹說，這個項目是由中國電科自行設計，攻克了多項關鍵技術，研制成功的實用化機型，能夠一次切割出400多片滿足生產(chǎn)線要求的12 英寸硅片。這項技術已向太陽能硅材料加工領域延伸，目前中國電科已與國際大型太陽能硅片企業(yè)簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，進行多功位線鋸的研發(fā)，2011 年6 月前后將完成商業(yè)機型的生產(chǎn)線工藝驗收。中國電科是我國軍工電子國家隊和國民經(jīng)濟信息化主力軍。“ 十一五”期間中國電科為我國國防和國民經(jīng)濟建設提供了一大批先進的電子信息系統(tǒng)和裝備，研制出一大批關鍵元器件。

來源：中國質量報

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