在6月28日召開的中國科協(xié)科技期刊月度研討會上,由哈爾濱工業(yè)大學(xué)電磁與電子技術(shù)研究所寇寶泉教授、李立毅教授、張赫博士撰寫的論文《集成繞組結(jié)構(gòu)短行程直流平面電機》被重點推介。該論文提出了一種可應(yīng)用于光刻機超精密工件臺的平面電機新型結(jié)構(gòu)。
與會專家表示,這種基于音圈電機運行原理的平面電機新結(jié)構(gòu),可以實現(xiàn)高精度、高頻響的定位運動,在光刻機超精密工件臺的應(yīng)用領(lǐng)域具有很高的研究價值。這一新發(fā)現(xiàn),對我國光刻機及其關(guān)鍵配套部件的研制具有重要意義,將加快推進我國集成電路(IC)產(chǎn)業(yè)的自主化進程。
來源:中國工業(yè)報
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