關(guān)鍵IC制造裝備國產(chǎn)化獲重大突破

沈陽拓荊科技有限公司承擔(dān)研制的國家02 重大科技專項暨國產(chǎn)12 英寸PECVD 樣機近日出廠。這是我國自主開發(fā)研制的首臺12 英寸PECVD 設(shè)備。

12 英寸PECVD 設(shè)備是國際主流薄膜沉積設(shè)備，是芯片制造過程中四種最基本、最重要的設(shè)備之一。一直以來，12 英寸PECVD 技術(shù)都被歐美以及日本等國家所壟斷。此次首臺國產(chǎn)12 英寸PECVD 設(shè)備順利出廠，標志著我國在集成電路高端設(shè)備研究和制造領(lǐng)域技術(shù)達到了國際先進水平，使我國IC 薄膜設(shè)備制造水平與國際IC 制造業(yè)主流技術(shù)水平保持同步，完善了國內(nèi)半導(dǎo)體重要裝備的產(chǎn)業(yè)鏈，打破了國外產(chǎn)品的市場壟斷和技術(shù)壟斷，使我國有能力在IC 高端設(shè)備市場上參與國際競爭，對提升我國IC 制造裝備的自主創(chuàng)新能力和核心競爭力具有重要的戰(zhàn)略意義。

此次擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的12 英寸PECVD 設(shè)備樣機的成功研發(fā)，使沈陽確立了在全國的集成電路裝備研發(fā)與制造領(lǐng)域同北京、上海三足鼎立的地位，這對調(diào)整遼沈地區(qū)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，創(chuàng)造新的經(jīng)濟增長點，推動遼沈地區(qū)IC裝備制造產(chǎn)業(yè)化發(fā)展具有重大的意義。

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