核心技術(shù)獲認(rèn)可 神工半導(dǎo)體協(xié)同上下游共筑“中國創(chuàng)造”產(chǎn)業(yè)新格局

　　2019年9月3日,由中國電子材料行業(yè)協(xié)會組織召開的錦州神工半導(dǎo)體股份有限公司“半導(dǎo)體刻蝕機(jī)用無磁場28吋熱場量產(chǎn)19吋硅單晶技術(shù)”鑒定會在遼寧錦州圓滿舉行。本次鑒定會由中國電子材料行業(yè)協(xié)會主持,浙江大學(xué)、中科院微電子研究所、上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造股份有限公司、中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司等八位專家組成專家組,中國科學(xué)院院士、浙江大學(xué)硅材料國家重點實驗室主任楊德仁組長,錦州神工半導(dǎo)體股份有限公司董事長潘連勝、項目相關(guān)負(fù)責(zé)人及主要成員出席會議。

　　會議開始前,錦州神工半導(dǎo)體股份有限公司(以下簡稱:神工半導(dǎo)體)董事長潘連勝致辭歡迎,熱忱歡迎各位專家的蒞臨、考察。緊接著,潘連勝先生陪同中國電子材料行業(yè)協(xié)會專家一行參觀了公司產(chǎn)品展廳,拉晶車間工廠等工作現(xiàn)場。經(jīng)過細(xì)致的觀摩與學(xué)習(xí),專家團(tuán)一行對神工半導(dǎo)體強(qiáng)大的研發(fā)實力,領(lǐng)先的產(chǎn)品與技術(shù)及完善的生產(chǎn)制造流程給予了高度評價。

　　據(jù)潘連勝先生現(xiàn)場介紹,神工半導(dǎo)體成立于2013年,是我國早期從事半導(dǎo)體級單晶硅材料研發(fā)生產(chǎn)的企業(yè)之一,經(jīng)過多年的技術(shù)積累,公司突破并優(yōu)化了多項關(guān)鍵技術(shù),構(gòu)建了較高的技術(shù)壁壘。目前,公司的主要產(chǎn)品形態(tài)包括硅棒、硅筒、硅環(huán)和硅盤,應(yīng)用于加工制成半導(dǎo)體級單晶硅部件,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷日本、韓國、美國等國家和地區(qū)。

　　專家一行參觀神工半導(dǎo)體公司展廳

　　鑒定會上,中國電子材料行業(yè)協(xié)會專家組審閱鑒定資料,聽取研發(fā)單位匯報項目情況,經(jīng)綜合評定和討論,一致肯定了錦州神工半導(dǎo)體股份有限公司研發(fā)的半導(dǎo)體刻蝕機(jī)用無磁場28吋熱場量產(chǎn)19吋硅單晶技術(shù),給出了鑒定意見:公司自主研發(fā)的半導(dǎo)體刻蝕機(jī)用無磁場28吋熱場(熱系統(tǒng))量產(chǎn)19吋硅單晶技術(shù),優(yōu)化了相關(guān)熱系統(tǒng)設(shè)計、晶體生長工藝,改善了固液界面的控制,實現(xiàn)了無磁場條件下、利用28吋熱系統(tǒng)生長了19吋直拉硅單晶。

　　中國電子材料行業(yè)協(xié)會專家組還指出,在保證參數(shù)一致性水平的基礎(chǔ)上,該技術(shù)還能保持良品率高、成本低、徑向電阻率均勻性好,并能大規(guī)模穩(wěn)定量產(chǎn)。使用28吋熱系統(tǒng)生長19吋硅單晶技術(shù)填補(bǔ)了國內(nèi)空白,達(dá)到國際先進(jìn)水平。

　　神工半導(dǎo)體公司拉制的19吋半導(dǎo)體級硅棒

　　半導(dǎo)體刻蝕機(jī)用無磁場28吋熱場(熱系統(tǒng))量產(chǎn)19吋硅單晶技術(shù)技術(shù)成果順利通過鑒定,標(biāo)志著神工半導(dǎo)體在半導(dǎo)體領(lǐng)域發(fā)展上又邁出了堅實的一步。面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展的新時代,神工半導(dǎo)體將不忘初心,持續(xù)為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)注入活力與創(chuàng)新力,協(xié)同上下游共筑“中國創(chuàng)造”的產(chǎn)業(yè)新格局。更多關(guān)于神工股份以及神工半導(dǎo)體內(nèi)容請關(guān)注公司官方網(wǎng)站了解詳情!

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