日前，由上海電氣集團股份有限公司（簡稱“上海電氣”）下屬上海微電子裝備（集團）股份有限公司自主研發(fā)的具有世界先進水平的首臺平板顯示6代投影曝光機正式發(fā)運。這對我國的平板顯示制造產業(yè)及裝備產業(yè)發(fā)展都有重大意義。
長期以來，我國平板顯示制造的中高端設備主要依靠進口，特別是投影曝光機。全球僅日本的尼康公司和佳能公司掌握了這一技術。上微6代投影曝光機的成功開發(fā)，將徹底打破這一現(xiàn)狀。
應用于平板顯示制造的投影曝光機極為復雜。該產品需要在1500mm×1850mm的區(qū)域內制作只有五十分之一頭發(fā)直徑的線條，且每根線條的位置精度要控制在一百五十分之一頭發(fā)直徑以內。上微用系統(tǒng)工程管理思想和方法來組織推進投影曝光機項目實施，堅持用產品化、工程化思想來進行產品研發(fā)，成功突破了投影曝光機的系統(tǒng)多、技術復雜性強、專利壁壘多等難題，成為全球第三家具備量產6代投影曝光機能力的公司，有力提升了我國高精密零件制造能力。
轉自：國資委網站
版權及免責聲明：凡本網所屬版權作品，轉載時須獲得授權并注明來源“中國產業(yè)經濟信息網”，違者本網將保留追究其相關法律責任的權力。凡轉載文章，不代表本網觀點和立場。版權事宜請聯(lián)系：010-65363056。
延伸閱讀
一波不平一波又起！18項罪名還沒審完 樸槿惠又要因這事被告上法庭
