僅90納米 世界最小像素尺寸鈣鈦礦LED問世

　　近日，記者從浙江大學(xué)官網(wǎng)獲悉，該校研究團(tuán)隊(duì)研發(fā)的微米和納米鈣鈦礦LED（micro-PeLED和nano-PeLED），突破LED尺寸新極限，達(dá)到90納米，這是目前已知最小像素尺寸的LED，相關(guān)研究成果于英國當(dāng)?shù)貢r間3月19日發(fā)表于國際權(quán)威學(xué)術(shù)期刊《自然》。

　　據(jù)悉，該技術(shù)由浙江大學(xué)光電科學(xué)與工程學(xué)院/海寧國際聯(lián)合學(xué)院教授狄大衛(wèi)和研究員趙保丹團(tuán)隊(duì)共同研發(fā)，成果先進(jìn)，其中最小LED尺寸僅為90納米的納米鈣鈦礦LED，為迄今為止公開報(bào)道的最小LED像素。

　　“降尺度”在電子科學(xué)中特指縮小基本器件尺寸的過程，引領(lǐng)著計(jì)算機(jī)科學(xué)、信息顯示和人機(jī)交互等領(lǐng)域的技術(shù)革命。Micro LED就是一種“降尺度”的LED，通過縮小LED的尺寸，可實(shí)現(xiàn)超高清、超高精度的光電顯示。

　　狄大衛(wèi)介紹，目前世界最先進(jìn)的顯示技術(shù)是基于Ⅲ-Ⅴ族半導(dǎo)體的微型發(fā)光二極管，可實(shí)現(xiàn)超高清、超高精度的光電顯示。但受限于復(fù)雜的工藝技術(shù)，微型發(fā)光二極管制造成本極高，當(dāng)像素尺寸減小到約10微米或更小時，效率會急劇下降。

　　從Ⅲ-Ⅴ族半導(dǎo)體的微型發(fā)光二極管的微型化研究中獲得啟發(fā)，狄大衛(wèi)團(tuán)隊(duì)開始研制用于未來顯示技術(shù)的更小的鈣鈦礦LED，于2021年首次提出“微型鈣鈦礦LED”概念，并獲得國家與國際專利，但用傳統(tǒng)光刻工藝制造微型鈣鈦礦LED會破壞鈣鈦礦材料。

　　為此，研究團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)出一套局域接觸工藝，通過光刻制作的圖案化窗口確保像素區(qū)域遠(yuǎn)離電極邊緣，能夠制造像素尺寸從數(shù)百微米到90納米的鈣鈦礦LED，同時保證了LED的發(fā)光效率。（記者 谷月）

　　轉(zhuǎn)自：中國電子報(bào)

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