納米級(jí)角度國(guó)家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制成功

　　8日，記者從國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)管總局獲悉，該局近日新批準(zhǔn)二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、二維硅納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、一維硅納米光柵標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)3項(xiàng)國(guó)家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，這些物質(zhì)能夠同時(shí)滿足納米制造產(chǎn)業(yè)角度和長(zhǎng)度校準(zhǔn)需求，為新一代信息技術(shù)、新材料、生物制造、高端裝備等領(lǐng)域的納米制造提供精準(zhǔn)“標(biāo)尺”。

　　據(jù)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制單位同濟(jì)大學(xué)相關(guān)專家介紹，研制高精度納米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，是打造高準(zhǔn)確度納米測(cè)量傳遞鏈、提升國(guó)產(chǎn)納米制造產(chǎn)品質(zhì)量可靠性的關(guān)鍵。二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)突破性地采用分步沉積原子光刻技術(shù)，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數(shù)（鉻原子躍遷頻率），角度絕對(duì)準(zhǔn)確性在0.001°量級(jí)，相當(dāng)于把一個(gè)蛋糕按扇形均分成36萬(wàn)份；二維鉻納米柵格的結(jié)構(gòu)面積一般為300μm（微米）×300μm（微米），在沒(méi)有劃傷或破壞的狀況下，每次使用2μm（微米）×2μm（微米），不重復(fù)使用測(cè)量區(qū)域次數(shù)可達(dá)20000次以上。其可應(yīng)用于晶圓級(jí)原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn)，也可應(yīng)用于對(duì)超精密位移傳感器多種參數(shù)的光柵干涉法校準(zhǔn)。

　　納米級(jí)角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制成功，實(shí)現(xiàn)了納米測(cè)量領(lǐng)域的扁平化計(jì)量，可通過(guò)在線校準(zhǔn)直接將高精度計(jì)量數(shù)據(jù)傳遞到企業(yè)計(jì)量現(xiàn)場(chǎng)，避免傳統(tǒng)逐級(jí)量值傳遞方式造成的誤差累積放大，將為我國(guó)納米制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。

　　據(jù)了解，國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)管總局將持續(xù)強(qiáng)化納米測(cè)量領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制應(yīng)用，進(jìn)一步解決納米制造“測(cè)不了、測(cè)不全、測(cè)不準(zhǔn)”問(wèn)題，為筑牢新興產(chǎn)業(yè)和未來(lái)產(chǎn)業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)提供支撐保障。（記者付麗麗）

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